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二次離子質(zhì)譜儀在很多領(lǐng)域有著重要意義

更新時(shí)間:2022-06-06瀏覽:1229次

   二次離子質(zhì)譜儀是通過高能量的一次離子束轟擊樣品表面,使樣品表面的原子或原子團(tuán)吸收能量而從表面發(fā)生濺射產(chǎn)生二次粒子,這些帶電粒子經(jīng)過質(zhì)量分析器后就可以得到關(guān)于樣品表面信息的圖譜。

  
  通過質(zhì)譜圖可以用來獲取樣品表面的分子、元素及同位素的信息,可以探測(cè)化學(xué)元素或化合物在樣品表面和內(nèi)部的分布,也可以用于生物組織和細(xì)胞表面或內(nèi)部化學(xué)成分的成像分析,配合樣品表面掃描和剝離(濺射剝離速度可以達(dá)到10微米/小時(shí)),還可以得到樣品表層或內(nèi)部化學(xué)成分的三維圖像。
  
  通過二次離子質(zhì)譜的深度剖析來分析材料薄膜結(jié)構(gòu)是一種*的分析手段,尤其是對(duì)于分析不同薄層中的材料,以及相鄰兩層之間材料的相互影響。分析亞微米尺度下的特征、缺陷或者污染,對(duì)于諸多工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域具有至關(guān)重要的影響,比如:半導(dǎo)體器件加工,硬盤磁頭加工,特殊反射面,復(fù)合材料等等。
  
  此外,利用二次粒子質(zhì)譜還是科技前沿問題的本質(zhì)探索的有力工具,例如在生命科學(xué)領(lǐng)域可對(duì)單細(xì)胞可視化分析,可以得到藥物在細(xì)胞內(nèi)的吸收、分布、代謝等信息,還可以研究藥物在組織或者細(xì)胞中的定位,對(duì)于提高藥物的靶向性以及合理設(shè)計(jì)藥物具有重要意義。

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