隨著質(zhì)譜技術的高速發(fā)展，作為一種分壓力測量儀器的四極質(zhì)譜儀被用檢測物質(zhì)含量和鑒定物質(zhì)類別。它采用的是兩級抽氣結構，前級為機械泵，后級為分子渦輪泵。工作時，先由前級泵，將真空腔內(nèi)的壓強降低幾個數(shù)量級，再由后級泵降至工作所需壓強。具有體積小、質(zhì)量輕、可選示漏氣體廣等諸多優(yōu)點，可以在真空泄漏檢測領域中發(fā)揮更大的作用。